台灣東方馬達 | 半導體展線上展示會

解決方案

CPO製程應用

課題：
• 空間配置受限

- 構與控制元件的配置空間有限，需要更小型的驅動產品，提升設備坪效才是關鍵

• 精度無法突破

- 受限於空氣壓縮特性，無法穩定實現「次微米級」的高精密定位需求，成為製程升級的瓶頸

• 精密對位時間長

- 高精度對位通常需要反覆量測與位置修正，容易延長設備節拍，影響整體產能與製程效率

•振動影響製程穩定

- 馬達運轉與機構產生的振動，可能造成位置偏移，影響精密對位的穩定性與重現性

以往的問題點：

同課題

解決方案：

• 多元方案小型化省空間・提高坪效

- DR系列 / DRS系列不使用聯軸器等連結零件，減少因為零件剛性或組合導致的齒隙影響

- CSG系列導軌內嵌設計，扁平化節省空間，且剛性大幅提升

• CVD全閉迴路驅動器實現次微米高精度定位

- 光學尺信號直接回授至驅動器，採用步進系統不會微振

- 驅動器即時再輸出光學尺訊號，無需額外讀頭即可實現高效能的飛拍與線掃描

• PKP系列 13mm步進馬達諧和式減速機型實現小型化+高精度
• AZ系列多軸驅動器(薄型) 分散式布局，甚至可隨軸移載，大幅精簡電控箱空間，提升坪效

OHT智慧搬運

課題：
•原使用開回路步進馬達進行定位控制，其後動作改為推壓夾持，導致馬達失步
•原使用Modbus通訊，持續有通訊異常的問題待解決

以往的問題點：

同課題

解決方案：

變更為AZ系列，mini驅動器使用Ethernet型，馬達使用安裝面□28mm
•空間效率：AZ系列28馬達擁有絕對式編碼器，可省去檢知器的安裝空間，實現小型化
•功能優勢：透過閉回路優勢，可偵測夾持機構是否有沒有夾緊，並可調整扭力避免破壞工件

•系統無縫整合： AZ mini Ethernet型支援 CC-Link IE Field Basic 通訊，完全相容三菱系統，滿足使用者既有的控制慣性。

真空環境應用-Particle&高溫對測

課題：
設備現況：
•真空腔體內運輸工作物的設備
•伺服馬達透過皮帶輪和旋轉傳動系統驅動滾珠螺桿

以往的問題點：

• 由於真空腔體內無法安裝馬達，因此需要旋轉傳動系統等部件，導致設備體積增大。

解決方案：

在真空腔體內設置馬達，實現設備小型化

• αSTEP AR系列真空型對應真空環境（10^-5Pa）

• 採用防止腔體污染的設計

• 即使在真空腔體內也可回授馬達的狀態

• 耐熱等級180（H）

全閉迴路技術實現
次微米級定位

全閉迴路技術賦能先進封裝與半導體前製程，實現次微米級高速對位

課題：
加裝光學尺並透過全閉迴路達到次微米精度，但又必須縮短平台的整定時間，縮短對位完成時間。

以往的問題點：

半導體製程與先進封裝製程中，必須滿足微縮化的需求，但目前的定位精度不夠。
在光纖耦合對位等應用中，希望對位平台停止時，可以快速地使設備完全靜止。

解決方案：

採用「 CVD全閉迴路驅動器」實現次微米高精度定位

光學尺信號直接回授至驅動器，執行全閉迴路控制，不須透過上位，縮短信號處理時間。
採用步進系統不會微振，運行時不會延遲定位時間；定位完成後可使設備保持靜止狀態。
搭配5相步進馬達，實行微步級驅動仍能保持精度。

13mm馬達貢獻
對位平台小型化

對位平台小型化新突破！□13mm步進馬達助攻半導體高坪效高精度對位

課題：
透過對位平台小型化，以複數平台同時運行，在相同空間下提升效率，貢獻坪效。

以往的問題點：

多軸對位平台搭配光學尺，整體定位時間長，希望縮短時間，提高效率。

解決方案：

採用「PKP系列□13mm步進馬達諧和式減速機型」，同步實現小型化與高精度：

□13mm步進馬達為目前業界最小尺寸，搭配減速機可大幅縮短尺寸
諧和式減速機“0”齒隙，低Lost Motion，實現高精度
運用馬達安定點時精度最高之特性，搭配小導程精密螺桿，提高重複精度

氣動升級電動
微型電動缸實現製程可追溯性

氣動升級電動，微型電動缸實現製程可追溯性

課題：
半導體製程日益重視設備數據監控與可追溯性，大廠要求關鍵部件須能回傳運行狀態，實現智慧化監控。

以往的問題點：

1. 無法監測與追溯動作過程狀態(速度、位置、負載率等)
2. 難以實現多點位控制，且無法確保動作的重現性與多軸之間的同步性
3. 苦惱於動作過程的微振抖動，需人工反覆繁瑣調校，卻仍難保一致性
4. 面臨全球淨零碳排趨勢，氣壓系統的高耗能特性，成為企業推動 ESG 的阻礙

解決方案：

1. 實現 IIoT 數據監控

驅動器即時回饋速度、位置與負載資訊，實現狀態監控與預測維護

2. 多軸同動・多點定位

高重現精度，確保製程一致性，降低良率波動

3. 不會發生微振抖動

參數調整可在軟體內完成，不需反覆調壓或人工調校

4. 節能減碳排

長期投入總成本較低 (TCO)

簡化擺臂機構設計
優化走線穩定位

簡化擺臂機構設計、優化走線、穩定定位

課題：
半導體擺臂機構在高速搬運與定位時，常面臨慣性負載大、走線空間不足及定位微振的挑戰，影響設備穩定度與設計效率。

以往的問題點：

高慣性負載需額外傳動軸與支撐結構，增加設計與組裝工時。
配線與配管繞行複雜，佔用空間、降低維護便利性。
伺服系統定位時易產生微振（hunting），影響製程均勻性與良率。

解決方案：

採用「DGⅡ 系列中空旋轉平台」，解決以下痛點！

高慣性慣量對應：可直接安裝大型平台或擺臂，省去傳動軸與補強結構，縮短設計與裝配時間。
中空軸設計：電纜線、空氣或液體的配管可穿過中心，節省空間、簡化走線。
無微振定位：採αSTEP AZ系列步進馬達，在停止時能完全靜止，提升製程良率。

控制器驅動FOUP Robot
實現高效搬運

克服奇異點與空間瓶頸！機器人控制器驅動FOUP Robot實現高效搬運與空間優化

課題：
解決奇異點問題，縮短Robot移動路徑，縮小Robot佔用面積，提高可搬運FOUP重量

以往的問題點：

奇異點問題：FOUP Stocker中空間有限，如何讓Robot有最短的移動路徑；以及如何縮至最小佔用面積，以利在Elevator中移動，並縮小Stocker的佔地面積，或增加Storage Rack數。
因應後續FOPLP的基板尺寸，FOUP重量增加，如何兼顧提升馬達轉矩與維持小型化？

解決方案：

採用「機器人控制器MRC01」＋「αSTEP AZ系列諧和式減速機型」：

機器人控制器MRC01控制簡單，並可讓自製SCARA(Robotic Arm)穿越奇異點，行走最短距離；讓Arm各軸收縮到最小面積，升降時不佔空間
AZ系列諧和式減速機型，減速機與步進馬達一體化設計，有效縮短空間；
AZ系列搭載多圈機械式絕對編碼器，免Sensor，斷電移動仍可記憶位置，可即時回傳狀態，實現可追溯性(智慧化監控)，並取得STO認證(PL e)

影片範例：以MRC01控制東方馬達的小型機器人OVR為例比較

吸嘴多軸高速同步解決產能瓶頸

突破空間限制！吸嘴多軸化與高速高精度同步實現，徹底解決產線產能提升瓶頸

課題：
以馬達小型化／絕對式／高速高轉矩，提升吸嘴軸數與信賴度，提高產能

以往的問題點：

馬達轉矩不足，定位時間無法再縮短；移載時G力導致失步
開迴路步進馬達需另外安裝Sensor，使機構空間加大，同時配線複雜化，有限空間內難再增加馬達軸數
解析度不足，角度微調困難

解決方案：

採用「αSTEP AZ 系列標準型中空軸」：

可將氣管直接連接至軸心，節省零件吸附與旋轉機構的空間
馬達編碼器為免電池絕對式，省去Sensor佔用空間與配線
可搭配DC48V輸入驅動器，提升高速轉矩；絕對式可補正，不會失步

小型多軸驅動器提升設備坪效

透過小型多軸驅動器，大幅提升半導體製造設備坪效

課題：
在先進半導體製程中，希望透過提升設備配置效率與空間利用率，在有限的安裝空間容納更多功能模組與軸數，實現設備小型化，提升產能。

以往的問題點：

由於工序增加或工序變更，需要增加設備上的馬達軸數，但會導致驅動器和配線空間、以及配線工時的增加。
隨著設備數量的增加，想縮小設備尺寸。

解決方案：

推薦採用「AZ系列多軸驅動器薄型」。以往單軸驅動器需要占用4台180mm的寬度，多軸薄型則支援4軸驅動，寬度僅60mm，與單軸驅動器相比可節省約66%的空間。驅動器安裝空間的大幅減少有助於縮小佔地面積，從而讓設備整體小型化。

小型馬達與配線改善緊湊空間

緊湊空間的小型馬達與配線改善方案

課題：
希望在輕負載的半導體設備中，能精準選用最適尺寸的馬達，兼顧設備小型化與佈局靈活性；同時簡化配線，減少空間佔用，提升安裝與維護效率。

以往的問題點：

小尺寸伺服馬達選擇稀少，導致輕負載設備被迫使用較大規格的馬達，造成空間與成本浪費。
馬達與電控箱距離長，配線繁瑣且佔用大量空間。

解決方案：

採用「αSTEP AZ系列步進馬達」，馬達安裝面從20、28mm起，到42、60、90mm皆有對應，可根據負載需求選擇最合適的馬達，有效節省設備空間，或放置在緊湊的空間中。
選擇「AZ系列連接器型馬達」和「mini型驅動器」，馬達與驅動器的連接僅需一條電纜線，且驅動器可安裝在馬達附近，徹底減少配線長度與空間占用。

解決方案

業界廠商指定採用產品TOP6

客戶證言

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