半導體展
半導體展
Toggle navigation
限定活動
解決方案
新商品區
客戶證言
資料下載
歷年展覽
(已結束)課程日期:2025/10/15(星期三)下午2:00~3:00
半導體設備優化技術研討會
半導體設備坪效優化與狀態監控解析|新商品技術精要(省空間・高精度・降成本)
本課程專為半導體產線工程師設計,從設備坪效優化、狀態監控到新一代高精度設備技術,帶您以實務案例深入掌握產線升級的核心關鍵。
課程亮點包含如何透過馬達參數監控實現預防性保養、確保穩定運作,以及省空間、次微米精度與降成本的最新解決方案,完整解析先進封裝與製程挑戰的應對策略。
搭配簡報與線上實機展演,即可快速理解產線優化方法,協助您提升競爭力,搶先掌握半導體產業發展新趨勢。
立即報名
解決方案
全閉迴路技術實現
次微米級定位
×
Close
全閉迴路技術賦能先進封裝與半導體前製程,實現次微米級高速對位
課題:
加裝光學尺並透過全閉迴路達到次微米精度,但又必須縮短平台的整定時間,縮短對位完成時間。
以往的問題點:
採用「 CVD全閉迴路驅動器」實現次微米高精度定位
光學尺信號直接回授至驅動器,執行全閉迴路控制,不須透過上位,縮短信號處理時間。
採用步進系統不會微振,運行時不會延遲定位時間;定位完成後可使設備保持靜止狀態。
搭配5相步進馬達,實行微步級驅動仍能保持精度。
解決方案:
13mm馬達貢獻
對位平台小型化
×
Close
對位平台小型化新突破!□13mm步進馬達助攻半導體高坪效高精度對位
課題:
透過對位平台小型化,以複數平台同時運行,在相同空間下提升效率,貢獻坪效。
以往的問題點:
多軸對位平台搭配光學尺,整體定位時間長,希望縮短時間,提高效率。
解決方案:
採用「PKP系列□13mm步進馬達 諧和式減速機型」,同步實現小型化與高精度:
□13mm步進馬達為目前業界最小尺寸,搭配減速機可大幅縮短尺寸
諧和式減速機“0”齒隙,低Lost Motion,實現高精度
運用馬達安定點時精度最高之特性,搭配小導程精密螺桿,提高重複精度
微型電動缸實現
製程可追溯升級
×
Close
氣動升級電動,微型電動缸實現製程可追溯性
課題:
半導體製程日益重視設備數據監控與可追溯性,大廠要求關鍵部件須能回傳運行狀態,實現智慧化監控。
以往的問題點:
氣缸僅能執行動作,無法回傳位置、負載或運行狀態。
缺乏狀態監控功能,難以滿足設備可追溯性與預測性維護需求。
解決方案:
採用東方馬達與TOYO聯名推出的微型電動缸「CSG系列」:
高剛性緊湊結構:內嵌軌道設計,提升剛性並縮小機構體積。
全方位狀態監控:搭載αSTEP AZ系列步進馬達,可即時回傳「位置」、「速度」、「溫度」、「負載」、「行走距離」、「電源狀態」等,實現製程設備的可追溯性。
業界廠商指定採用產品TOP3
客戶證言
資料下載
立即索取
2025 食品包裝機械展
2025 自動化展
2025 半導體展
2025 五金展
2025 醫療科技展
2026 工具機展